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產(chǎn)品名稱: 三維磁場探針臺半導(dǎo)體材料測試
產(chǎn)品型號: T8-500-3 T8-300-3 T8-100-3
產(chǎn)品展商: 錦正茂儀器
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。
三維磁場探針臺半導(dǎo)體材料測試
的詳細(xì)介紹
三維磁場探針臺
產(chǎn)品概述：
北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風(fēng)冷（磁場較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。
應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
技術(shù)指標(biāo)：
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三維磁場探針臺
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型號
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T8-500-3
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T8-300-3
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T8-100-3
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材質(zhì)
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所選材料均為無磁材質(zhì)
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磁場范圍
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500Gs
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300Gs
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100GS
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線圈材質(zhì)
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耐高溫漆包線
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磁場均勻性
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中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%
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電源穩(wěn)定性
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三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm
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磁場分辨率
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0.05 mT
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角度分辨率
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0.02°
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樣品固定方式
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吸盤或者壓片
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樣品臺直徑
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50mm可定制
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顯微鏡
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光
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放大倍數(shù)
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16~100X/20~4000X
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探針臂數(shù)量
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2、4可選
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探針臂行程
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25mm-25mm-12mm可更換
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探針臂移動精度
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10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
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探針長度
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38mm
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探針直徑
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0.51mm
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針尖直徑
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10μm/5μm/1μm
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探針材料
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鎢/鈹銅/GGB
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漏電精度
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100fA
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顯微鏡
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光
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