半導(dǎo)體行業(yè)實(shí)驗(yàn)室三維磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品概述:
半導(dǎo)體行業(yè)實(shí)驗(yàn)室三維磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場(chǎng)探針臺(tái),采用無(wú)磁材料制成,一維 、二維 、三維三對(duì)亥姆霍茲線圈正交放置,產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場(chǎng)。線圈可采用風(fēng)冷(磁場(chǎng)較小)也可采用水冷結(jié)構(gòu)(磁場(chǎng)較大),并且配備有線圈過(guò)熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過(guò)軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流,可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng),便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào),用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等。您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”,就能看到我們的企業(yè)店鋪,聯(lián)系更加方便快速!
應(yīng)用范圍:錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配,通過(guò)真正的雙極性電源輸出,實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。您也可以在淘寶網(wǎng)首頁(yè)搜索“錦正茂科技”,就能看到我們的企業(yè)店鋪,聯(lián)系更加方便快速!
可選附件:
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
半導(dǎo)體行業(yè)實(shí)驗(yàn)室三維磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)
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技術(shù)指標(biāo):
三維磁場(chǎng)探針臺(tái)
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型號(hào)
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T8-500-3
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T8-300-3
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T8-100-3
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材質(zhì)
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所選材料均為無(wú)磁材質(zhì)
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磁場(chǎng)范圍
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500Gs
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300Gs
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100GS
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線圈材質(zhì)
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耐高溫漆包線
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磁場(chǎng)均勻性
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中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%
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電源穩(wěn)定性
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三臺(tái)高精度直流電源 50ppm可選10ppm
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磁場(chǎng)分辨率
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0.05 mT
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角度分辨率
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0.02°
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樣品固定方式
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吸盤或者壓片
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樣品臺(tái)直徑
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50mm可定制
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顯微鏡
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X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光
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放大倍數(shù)
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16~100X/20~4000X
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探針臂數(shù)量
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2、4可選
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探針臂行程
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25mm-25mm-12mm可更換
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探針臂移動(dòng)精度
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10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
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探針長(zhǎng)度
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38mm
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探針直徑
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0.51mm
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針尖直徑
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10μm/5μm/1μm
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探針材料
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鎢/鈹銅/GGB
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漏電精度
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100fA
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顯微鏡
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X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光
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