晶圓測試是對晶片上的每個(gè)晶粒進(jìn)行針測,在檢測頭裝上以金線制成細(xì)如毛發(fā)之探針(probe),與晶粒上的接點(diǎn)(pad)接觸,測試其電氣特性,不合格的晶粒會(huì)被標(biāo)上記號(hào),而后當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨(dú)立的晶粒時(shí),標(biāo)有記號(hào)的不合格晶粒會(huì)被洮汰,不再進(jìn)行下一個(gè)制程,以免徒增制造成本。
在晶圓制造完成之后,晶圓測試是一步非常重要的測試。這步測試是晶圓生產(chǎn)過程的成績單。在測試過程中,每一個(gè)芯片的電性能力和電路機(jī)能都被檢測到。晶圓測試也就是芯片測試(die sort)或晶圓電測(wafer sort)。
在測試時(shí),晶圓被固定在真空吸力的卡盤上,并與很薄的探針電測器對準(zhǔn),同時(shí)探針與芯片的每一個(gè)焊接墊相接觸。電測器在電源的驅(qū)動(dòng)下測試電路并記錄下結(jié)果。測試的數(shù)量、順序和類型由計(jì)算機(jī)程序控制。測試機(jī)是自動(dòng)化的,所以在探針電測器與**片晶圓對準(zhǔn)后(人工對準(zhǔn)或使用自動(dòng)視覺系統(tǒng))的測試工作無須操作員的輔助。
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